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石墨烯管式炉(石墨烯CVD炉)

TAG: CVD设备 cvd系统 PECVD系统 PECVD设备 石墨烯生长炉


产品型号:S-1200PC

简要描述:

管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa

详细介绍
产品结构:
由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
S-1200G管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
产品用途:
可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。
产品参数:
  • 产品型号:S-1200PC
  • 气路控制:浮子流量计/质量流量计
  • 真空系统:旋片泵/扩散泵/分子泵
  • 可选配件:水冷机/数显真空计
  • 最高温度:1200℃(可定制)
  • 工作温度:≤1100℃(可定制)
  • 加热元件:合金加热丝
  • 温控方式:智能化30段PID微电脑可编程控制
  • 温控保护:具有超温及断偶报警功能
  • 热电偶:K型
  • 炉膛材质:高纯氧化铝多晶纤维
  • 加热速率:0-20℃/分
  • 恒温精度:±1℃
  • 极限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 均匀性:±5℃
  • 炉壳结构:双层壳体带风冷系统
  • 额定功率:4Kw
  • 供电电源:110-480V 50/60Hz
  • 售后服务:12个月质保,终身保修(易损件除外)

 


售后保障

  • 我公司对所供设备提供质保十二个月保修服务(易损件除外),人为造成损坏不属于质保范围,保修期满后,仍提供终身维修服务
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  • 我公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。确保用户对产品能熟练的进行规范、安全操作,能够对一般故障能进行处理和设备的日常维护及保养,保证设备正常使用。
  • 我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。我公司技术顾问可随时解答客户在技术及标准规范方面的疑问及进行技术指导。
  • 本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)
  • 本公司所有产品均有质量认证证书。
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