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CVD设备
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双温区CVD实验室设备

TAG: CVD设备 cvd系统 PECVD系统 PECVD设备


产品型号:S-1400PC

简要描述:

双温区PECVD实验室设备由滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成,最高温度可以达到1400度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计

详细介绍
产品结构:
1400度双温区cvd实验室设备由滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1400度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。
滑动式快速退火管式炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。
软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
产品用途:
1400度双温区cvd实验室设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
产品参数:
  • 产品型号:S-1400PC
  • 气路控制:浮子流量计/质量流量计
  • 真空系统:旋片泵/扩散泵/分子泵
  • 可选配件:水冷机/数显真空计
  • 最高温度:1400℃(可定制)
  • 工作温度:≤1300℃(可定制)
  • 加热元件:优质硅碳棒
  • 温控方式:智能化30段PID微电脑可编程控制
  • 温控保护:具有超温及断偶报警功能
  • 热电偶:S型
  • 炉膛材质:高纯氧化铝多晶纤维
  • 加热速率:0-20℃/分
  • 恒温精度:±1℃
  • 均匀性:±5℃
  • 极限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 炉壳结构:双层壳体带风冷系统
  • 额定功率:5Kw
  • 供电电源:110-480V 50/60Hz
  • 售后服务:12个月质保,终身保修(易损件除外)

 


售后保障

  • 我公司对所供设备提供质保十二个月保修服务(易损件除外),人为造成损坏不属于质保范围,保修期满后,仍提供终身维修服务
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